下载磁控溅射镀膜设备及镀膜方法的技术资料

文档序号:31836737

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本发明专利公开了一种磁控溅射镀膜设备及镀膜方法,磁控溅射镀膜设备包括一设备本体、一安装于设备本体内部的转笼及一安装于转笼内部的磁控溅射装置。转笼的内壁面用于安装镀膜产品,且转笼可围绕于磁控溅射装置转动,以使磁控溅射装置对镀膜产品进行均匀镀膜...
该专利属于上海哈呐技术装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海哈呐技术装备有限公司授权不得商用。

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