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一种用于支撑一组集成电路单元（６５）的支撑装置，所述装置包括：支撑构件，该支撑构件具有金属表面，该金属表面包括凹口（２７）阵列；软材料层，该软材料层覆盖金属表面的凹口，以便保护该单元（６５）不会因为与金属表面相接触而被损害；以及真空装置（３...
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