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本发明由于向配置于投影光学系统（ＰＬ）的物体面侧的遮光图案（ＭＰ↓［ｎ］）照射光，一边使配置于投影光学系统的像面侧的空间像计测装置的狭缝（２９ｘ、２９ｙ）在与投影光学系统的光轴垂直的面内移动，一边检测通过了投影光学系统及狭缝的光的光强度分布...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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