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半导体结构和制造半导体结构的方法技术
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文档序号:3183201
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本发明提供一种半导体结构,它包括含Co的衬垫,布置在吸氧层与含金属的导电材料之间。含Co的衬垫、吸氧层和含金属的导电材料形成MOL金属化层,其中含Co的衬垫取代了传统的TiN衬垫。“含Co”意指衬垫单独地包括元素Co,或包括元素Co和P或B...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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