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用于相变存储器器件的电极和方法技术
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文档序号:3183200
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本发明公开了一种用于相变存储器器件的存储材料的电极。所述电极包括粘结到存储材料的第一层,所述第一层包括氮化物(AN↓[x]),其中A为钛(Ti)和钨(W)中的一种,而x小于1.0,以及粘结到所述第一层的第二层,所述第二层包括氮化物(AN↓[...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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