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本发明公开了一种光学直写成像装置，包括：第一数字光空间调制器件和第二数字光空间调制器件；第一光源发出具有第一波长的直写光束并投射至第一数字光空间调制器件，被第一数字光空间调制器件通过成像系统反射到涂有光敏材料的成像面；第二光源发出具有第二波...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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