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本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部（６），该浮起平台部（６）使基板（１）浮起并对其进行水平支撑；第１基板搬运装置（９），其保持基板（１）的端部，在使基板（１）在浮起平台部（６）上方浮起的状态下对基板（１）进行搬运；检...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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