下载具有垂直U形晶体管的DRAM单元的技术资料

文档序号:3182991

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本发明包含具有U形晶体管(2406)的半导体结构(100),所述U形晶体管(2406)通过蚀刻半导体衬底(110)形成。在一个实施方案中,将所述晶体管的源极/漏极区设置在由衬底(110)中相交的沟槽限定的支柱对的顶部上。一根支柱通过在环绕的...
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