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带有隐埋耗尽层的有源光敏结构制造技术
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下载带有隐埋耗尽层的有源光敏结构的技术资料
文档序号:3182786
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一种成像器像素具有光敏JFET结构,该结构的沟道区位于隐埋的电荷累积区上方。该沟道区具有依赖于累积区中所累积的电荷电平而变化的电阻特性。在积分期期间,入射光使电子累积在隐埋的累积区内部。沟道区的电阻特性响应于累积在累积区中的电荷形成的场而变...
该专利属于微米技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过微米技术有限公司授权不得商用。
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