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用于沉积钌膜的前驱体，其包含溶于至少一种非可燃性溶剂，优选氟化溶剂中的四氧化钌，所述溶剂具有通式Ｃ↓［ｘ］Ｈ↓［ｙ］Ｆ↓［ｚ］Ｏ↓［ｔ］Ｎ↓［ｕ］，式中：２ｘ＋２≤ｙ＋ｚ且２≤ｘ≤１５且ｚ＞ｙ且ｔ＋ｕ≥１（ｔ＋ｕ优选等于１），ｘ、ｙ、ｚ、ｔ...该专利属于乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司授权不得商用。
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用于沉积钌膜的前驱体，其包含溶于至少一种非可燃性溶剂，优选氟化溶剂中的四氧化钌，所述溶剂具有通式Ｃ↓［ｘ］Ｈ↓［ｙ］Ｆ↓［ｚ］Ｏ↓［ｔ］Ｎ↓［ｕ］，式中：２ｘ＋２≤ｙ＋ｚ且２≤ｘ≤１５且ｚ＞ｙ且ｔ＋ｕ≥１（ｔ＋ｕ优选等于１），ｘ、ｙ、ｚ、ｔ...