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本发明提供一种用于制造异质结太阳能电池的方法以及异质结太阳能电池。所述方法首先通过制绒清洗工艺对N型单晶硅片进行制绒清洗；然后通过本征PECVD工艺在N型单晶硅片的正反面上分别形成第一、第二本征非晶硅层；接着通过第一、第二、第三N型PECV...
该专利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海理想万里晖薄膜设备有限公司授权不得商用。

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