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提供了一种互连结构，其包括位于电介质材料内提供的每一导电特征的顶上的含金属罩，其中含金属罩的表面区域在任何其它电介质材料随后沉积在其上之前被氧化。另外，位于导电特征之间的电介质材料表面上的金属微粒也可以与含金属罩的表面区域同时被氧化。这样做...
该专利属于国际商业机器公司所有，仅供学习研究参考，未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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