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本发明公开了一种清扫装置，清扫装置用于清扫单晶炉的副室，且包括支架、清扫组件、行走组件、多个弹性伸缩杆和第一驱动组件，行走组件适于支撑在副室的壁面上以沿副室的轴向竖直运动，行走组件包括多个行走架和多组行走轮组，多个行走架沿支架的周向依次设置...
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