温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及与原子层沉积反应器连接的气体分配单元(10)。该气体分配单元(10)包括：入口表面(14)；出口表面(16)；工艺气体通道(20，40)，其延伸穿过气体分配单元(10)并向入口表面(14)和出口表面(16)开放；阻隔气体入口配件(...
该专利属于BENEQ有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过BENEQ有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。