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半导体装置以及制造包括多堆栈混合定向层之半导体装置之方法制造方法及图纸
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文档序号:3182078
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一种包括具有第一晶向的衬底的半导体装置。第一绝缘材料位于衬底上且多个硅层位于第一绝缘层上。第一硅层包含具有第二晶向和一晶面的硅。第二硅层包含具有该第二晶向和基本上与该第一硅层的晶面垂直的晶面的硅。因为空穴在(110)面比在(100)面具有更...
该专利属于先进微装置公司所有,仅供学习研究参考,未经过先进微装置公司授权不得商用。
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