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在CMOS技术中形成自对准双重硅化物的方法技术
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文档序号:3181902
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一种制造互补金属氧化物半导体(CMOS)器件的方法,其中该方法包括如下步骤:在半导体衬底(102)中形成用于容纳第一类型半导体器件(130)的第一阱区(103);在半导体衬底(102)中形成用于容纳第二类型半导体器件(140)的第二阱区(1...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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