下载用自对准工艺制造的相变存储器及其制造方法的技术资料

文档序号:3181881

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一种存储器,包括成行成列形成阵列的晶体管,跨过所述阵列成列的导线,接触所述导线并与所述导线自对准的相变元件,该存储器包括接触相变元件的底电极,每个底电极与所述导线自对准并耦合到晶体管的源-漏极路径的一侧。...
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