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在涂布有抗蚀剂的衬底上执行水平传感器中的光点高度偏移的校准，以消除由水平传感器获得的衬底位置测量的处理相关性。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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