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一种用于实施批次喷洒的方法，包括：提供设置在转盘上的衬底，旋转转盘以使衬底绕转盘的中心轴旋转，使衬底不依赖于转盘而独立旋转，其中衬底的旋转和转盘的旋转同时发生，以及从至少一个固定的位置将化学制品喷洒到衬底上。使衬底不依赖于转盘而独立旋转使得...
该专利属于英特尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过英特尔公司授权不得商用。

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