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文档序号:3181291
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公开了一种半导体器件,包括:半导体衬底;在所述半导体衬底的主表面形成的器件有源部分;在所述半导体衬底的主表面形成的、以围绕所述器件有源部分的外围的器件隔离部分;层叠在所述器件有源部分上的绝缘膜;以及层叠在所述绝缘膜上的栅电极;其中,所述器件...
该专利属于松下电器产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过松下电器产业株式会社授权不得商用。
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