下载在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法的技术资料

文档序号:3181210

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本发明提供一种在金属和多晶硅化学机械研磨中减少大图案凹陷的方法,主要通过以光刻和蚀刻技术结合修饰性化学机械研磨的方法,避免对大图案的金属或者多晶硅进行研磨时出现过度凹陷。这种方法既可以使一个晶片的有源区性能良好,也可以使周边大图案区域的凹陷...
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