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太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法及装置制造方法及图纸
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文档序号:3180430
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一种太阳能硅片的切割制绒一体化加工方法及装置,属特种加工范畴,针对低电阻率(0.01~100Ω.cm)的单晶或多晶硅锭,采用较高电导率(0.1~10ms/cm)工作液,基于无切削力的电火花放电和高温脉冲电化学腐蚀复合加工原理,实现太阳能硅片...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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