下载聚硅氮烷处理溶剂及用该溶剂处理聚硅氮烷的方法的技术资料

文档序号:3180121

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本发明涉及一种聚硅氮烷处理溶剂,其具有优异的溶解力和稳定性,对于作为底层的基底和聚硅氮烷的性能没有影响,具有良好的切割边缘形状,另外对于人体是高度安全的。该处理溶剂包含从由四氢化萘,对薄荷烷,对异丙基苯甲烷,α-蒎烯,1,8-桉树脑及其混合...
该专利属于AZ电子材料(日本)株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过AZ电子材料(日本)株式会社授权不得商用。

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