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半导体结构和制造电阻器的方法技术
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文档序号:3180055
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本申请涉及半导体结构和制造电阻器的方法。本发明提供的一种含多晶硅电阻器包括:(1)从硼和氟化硼中选出的一种p型掺杂剂;以及(2)从砷和磷中选出的一种n型掺杂剂。每一个所述p型掺杂剂和n型掺杂剂的掺杂剂浓度从每立方厘米大约1e18到大约1e2...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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