下载一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法的技术资料

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本发明公开了一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法,通过空间光调制器在一定的纵向间隔下依次投影相移图像,投影次数和所投影的具有一定相位差的条纹图一一对应,CCD同步采集到携带物体高度信息的条纹图。在测量中,将计算机预先生成的相位图...
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