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一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法技术
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文档序号:31798252
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本发明公开了一种基于空间结构光场的高精度微纳三维形貌测量方法,通过空间光调制器在一定的纵向间隔下依次投影相移图像,投影次数和所投影的具有一定相位差的条纹图一一对应,CCD同步采集到携带物体高度信息的条纹图。在测量中,将计算机预先生成的相位图...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。
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