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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3179741
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本发明公开了一种半导体器件,其包括:第一绝缘层,其具有用作外键的通孔;存在于该通孔中的剩余的第一金属;以及金属互连,其形成在包括该剩余的第一金属的第一绝缘层上。该金属互连的内键区域被刻蚀。...
该专利属于东部高科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部高科股份有限公司授权不得商用。
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