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浮置栅极与非挥发性存储器的制造方法技术
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文档序号:3179710
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一种浮置栅极的制造方法,此方法例如是先提供基底,基底上已形成有介电层、第一导体层与掩模层。在掩模层、第一导体层、介电层与基底中形成多个隔离结构。之后,进行掩模层部分移除步骤,此步骤包括:移除部分掩模层,并且移除部分隔离结构,这些隔离结构的顶...
该专利属于力晶半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司授权不得商用。
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