下载多晶硅控制的回蚀刻显示器的技术资料

文档序号:3179301

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该发明公开了一种生产电子线路的半导体晶圆。这种半导体基片进一步包括一个回蚀刻显示器,该显示器包括有不同尺寸的沟槽,沟槽中充填有多晶硅。然后,多晶硅又从那些较大平面尺寸的沟槽中全部清除,但在那些较小平面尺寸的沟槽底部仍然保留有多晶硅。...
该专利属于万国半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过万国半导体股份有限公司授权不得商用。

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