下载磷酸锡防渗透膜及方法和设备的技术资料

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揭示一种磷酸锡防渗透膜及方法和设备。该方法包括以下步骤:在器件的至少一部分上沉积磷酸锡的低液相线温度(LLT)的无机材料,形成沉积的磷酸锡LLT材料;在基本上不含氧气和湿气的环境中对沉积的LLT材料进行热处理,形成气密式密封;其中,沉积LL...
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