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本发明提供吸附特性、热均匀性和耐绝缘破坏性优良的带加热器的静电吸盘。带加热器的静电吸盘（１）具备由包含氧化铝的烧结体做成的基体（２）、在基体中的上侧设置的ＥＳＣ电极（３）、埋在基体中的下侧而设置的电阻发热体（４），基体由从ＥＳＣ电极到基体的...
该专利属于日本碍子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本碍子株式会社授权不得商用。

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