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一种圆形化学机械抛光垫，其包括具有同心定位的原点的抛光面。所述抛光面包括凹槽组，这些凹槽组各自包括以一定图案排列的凹槽，一个凹槽组中的凹槽与另一个凹槽组中的凹槽交叉。各凹槽组中的凹槽构造和排列成使得沿着任意与所述原点同心且穿过所述凹槽的圆测...
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