下载有源矩阵基板及其制造方法的技术资料

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提供具备具有顶栅结构并且特性相互不同的多个氧化物半导体TFT的有源矩阵基板。一种有源矩阵基板,具备分别具有氧化物半导体层和隔着栅极绝缘层配置在氧化物半导体层的一部分上的栅极电极的第1TFT和第2TFT,在第1TFT中,氧化物半导体层中的隔着...
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