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用于生长平坦半极性氮化镓的技术制造技术
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下载用于生长平坦半极性氮化镓的技术的技术资料
文档序号:3178711
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一种生长氮化物薄膜的方法,其包含: 在衬底上生长平坦半极性氮化物薄膜,其中所述平坦半极性氮化物薄膜是与所述衬底的表面平行生长。...
该专利属于加利福尼亚大学董事会所有,仅供学习研究参考,未经过加利福尼亚大学董事会授权不得商用。
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