用于生长平坦半极性氮化镓的技术制造技术

技术编号:3178711 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种生长氮化物薄膜的方法,其包含:    在衬底上生长平坦半极性氮化物薄膜,其中所述平坦半极性氮化物薄膜是与所述衬底的表面平行生长。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员:特洛伊·J·贝克本杰明·A·哈斯克尔保罗·T·菲尼史蒂文·P·登巴尔斯詹姆斯·S·斯佩克中村修二
申请(专利权)人:加利福尼亚大学董事会
类型:发明
国别省市:

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