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文档序号:31786703
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本发明提供一种检查装置。检查装置(10)具备第1弹性体(100)及第1柱塞(110)。第1弹性体(100)划分形成有孔(102)。第1柱塞(110)与第1弹性体(100)重叠。在孔(102)的内壁形成有导电膜(104)。第1柱塞(110)与...
该专利属于株式会社友华所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社友华授权不得商用。
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