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具有垂直结构的存储器装置制造方法及图纸
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下载具有垂直结构的存储器装置的技术资料
文档序号:31786359
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本公开涉及具有垂直结构的存储器装置。一种存储器装置包括:单元晶圆,其包括存储器单元阵列;以及外围晶圆,其包括控制存储器单元阵列的行控制电路、列控制电路和外围电路,外围晶圆在第一方向上层叠在单元晶圆上并接合到单元晶圆。外围晶圆包括:第一基板,...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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