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一种投影对准器包括照明光学系统、曝光系统和校正光学系统，该照明光学系统利用曝露光照射掩模图形，该曝光系统利用穿过该照明光学系统的曝露光照射台上的基板，该校正光学系统包括用于校正该曝露光的照度不规则性的两个校正滤镜。该校正滤镜具有与投影对准器...
该专利属于NEC液晶技术株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过NEC液晶技术株式会社授权不得商用。

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