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本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：用于搬运作为被检体的薄板状的基板（４）的浮起台（１Ａ、２Ａ、３Ａ）；以及吸附搬运部（５、６、７），它们配置在这些浮起台的与搬运方向正交的方向中的任意侧，保持基板（４）的端部并对基板（４）施加搬...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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