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本实用新型公开了一种新型晶圆搬运用机械手，包括：固定支架；升降机构，所述升降机构固定安装在固定支架上；旋转机构，所述旋转机构与升降机构传动连接，并由升降机构驱动旋转机构做垂直升降运动；机械臂机构，所述机械臂机构与旋转机构传动连接，并由旋转机...
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