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本实用新型公开了一种化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内设置有沉积室，所述沉积室顶部与真空管道连接，所述沉积室底部设置在坩埚盖上，所述坩埚盖底部设置有原料坩埚，所述坩埚盖位于沉积室对应的表面上还设置有气体导入装置；所述气体导入装置包括多个并...
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