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本发明公开了一种ＣＭＯＳ图像传感器集成电路中的金属连线结构。该金属连线结构包括由金属阻挡层和金属钨构成的第一层金属连线层，以及与栅层及硅衬底有源区互连的接触孔。该金属连线层通过刻蚀覆盖在晶体管栅极层上的层间介质膜，形成沟槽和接触孔，并在沟槽...该专利属于格科微电子(上海)有限公司;格科微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过格科微电子(上海)有限公司;格科微电子有限公司授权不得商用。