下载互补金属氧化物硅图像传感器及其制造方法的技术资料

文档序号:3177789

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本发明公开了一种CMOS图像传感器的制造方法,该方法包括以下步骤。形成包括光电二极管、金属线和用于使金属焊盘与金属线之间绝缘的层间绝缘膜的下结构(under-structure)。在下结构上面和/或上方形成钝化层。选择性刻蚀钝化层和钝化层下...
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