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用于设计精细图案的方法和设备技术
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文档序号:3177780
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本发明提出了一种用于设计精细图案的方法和设备,可以将精细图案完全地转移到物体上。所述方法包括:读取用于曝光的精细图案的原始数据;将精细图案划分为不需要修正的第一图案和需要修正的第二图案;通过形成与第二图案维持第一距离D1的辅助图案来修正精细...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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