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本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括基底、振膜、绝缘隔离层、背极、背板材料层和若干个声孔；基底中形成有贯穿基底的空腔；振膜通过支架固定于基底上，振膜中形成有折叠结构及贯穿振膜的泄气孔；绝缘隔离层自基底表面延伸到振膜的上方，且与振膜相间隔，...
该专利属于瑶芯微电子科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑶芯微电子科技（上海）有限公司授权不得商用。

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