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本发明涉及一种用于向光电应用的硅电池（１２）施加均匀的、尤其是磷酸层的薄液层的设备（１０），其配置有：处理腔（１４）；液体盘（１６）；以及将液体转化成液雾（１５）的高频超声设备（１１）；以及用于硅电池（１２）的传送设备（１３），其设置在处理...
该专利属于施密德技术系统有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过施密德技术系统有限公司授权不得商用。

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