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本发明提供一种外观检查装置、外观检查方法以及可安装在外观检查装置上的边缘部检查单元。该外观检查装置具有宏观检查部（１０）和微观检查部（１１），在微观检查部（１１）中，将检查台（３１）与显微镜（３２）安装在安装板（３０）上。检查台（３１）可分...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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