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本发明提供一种含有在酸的作用下碱溶性增大的基材成分（Ａ）和利用曝光产生酸的产酸剂成分（Ｂ）的正型抗蚀剂组合物，其中，所述基材成分（Ａ）含有：具有２个以上苯酚性羟基且分子量为３００～２５００的多元酚化合物（ａ）中的所述苯酚性羟基被酸解离性溶解...
该专利属于东京应化工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。

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