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制造双极晶体管的方法技术
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文档序号:3176830
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公开了一种在第一沟槽(11)中制造双极晶体管的方法,其中,仅仅应用一个光刻掩模来形成第一沟槽(11)和第二沟槽(12)。在第一沟槽(11)和第二沟槽(12)中自对齐形成集电极区域(21)。基极区域(31)自对齐形成于第一沟槽(11)中的集电...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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