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本发明提供一种提升耐压工艺窗口的超结器件,包括:半导体衬底;沉积于半导体衬底上的外延层,外延层包括第一半导体层及层叠于其上的第二半导体层,且第一半导体层的禁带宽度大于第二半导体层的禁带宽度;形成于外延层中的超结结构,超结结构包括至少一个第一...该专利属于杭州芯迈半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州芯迈半导体技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种提升耐压工艺窗口的超结器件,包括:半导体衬底;沉积于半导体衬底上的外延层,外延层包括第一半导体层及层叠于其上的第二半导体层,且第一半导体层的禁带宽度大于第二半导体层的禁带宽度;形成于外延层中的超结结构,超结结构包括至少一个第一...