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一种半导体器件及其应用与制造方法技术
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文档序号:31767266
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本发明公开了一种半导体器件及其应用与制造方法,所述半导体器件包括:衬底;沟道层,设置在所述衬底上;势垒层,设置在所述沟道层上;第一氮化镓层,设置在所述势垒层上,且覆盖所述势垒层;第二氮化镓层,设置在所述第一氮化镓层上;第三氮化镓层,设置在所...
该专利属于深圳市晶相技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市晶相技术有限公司授权不得商用。
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